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壓電精密定位控制——閉環系統

更新時間: 2018-05-07

由于壓電陶瓷具有幾乎無限高的位移分辨率,因此它們非常適用于微米到納米級別的高精度定位。

但是由于壓電陶瓷存在遲滯特性與蠕變特性,使得給壓電陶瓷加載相同的電壓所產生的位移不同,也就是我們說的遲滯與蠕變特性。

在很多的實際應用中,位移的高分辨率非常重要,但是的定位精度并不那么重要,非常典型的案例比如壓電移相器在干涉儀中的應用,通常要求移相器要具有非常高的分辨率,而定位精度并不重要。

另外一個例子就是應用中只需要零點與zui大位移的一個致動過程,壓電陶瓷在每次致動到zui大位移之后都回到零點位置,因此遲滯并不會影響所需要的性能。這時開環控制足以滿足應用需求。

然而,有些應用則要求非常高的定位精度,這需要通過壓電陶瓷與傳感監測系統相結合來實現,由于高動態性,壓電陶瓷非常適用于帶有傳感監測裝置的閉環系統。

芯明天的閉環壓電產品可以選擇不同的傳感監測系統,可以實現位移的定位精度是滿行程的0.02%-0.1%。對于一個滿行程10μm的納米定位臺來說,定位精度zui高可達2nm,更高的精度可以選擇電容傳感器,定位精度zui高可以達到滿行程的0.001%

在使用閉環定位系統的時候需要注意,每個傳感閉環監測的位移都是被標定的線性位置。 

但是若受到環境因素比如溫度的影響,傳感監測到的位置與實際要定位的位置之間的偏差量則無法監測到。

芯明天全部壓電產品均為自主研發設計,可選擇配置高可靠性傳感監測系統,配套我們開發設計的帶有閉環控制系統的控制器,閉環控制是通過PID控制電路來實現實時調節的,實際監測到的位移可以顯示在屏幕上。

在具體應用中首先要確定是否需要閉環系統,以便選擇適合的致動產品及控制器。 

芯明天全系列壓電納米定位產品均可選擇開環或閉環版本,配套對應的開環或閉環控制器產品。

如果您還不能確定需要開環還是閉環產品以滿足您的應用,那就趕快與我們的銷售工程師取得吧。

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