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芯明天三維壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)是由二維θx,θy運(yùn)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡和一維Z向直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)壓電納米定位臺(tái)組合而成，θx, θy軸偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)43mrad/軸，Z向直線(xiàn)行程可達(dá)500μm，內(nèi)部集成高精度傳感器，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)、無(wú)機(jī)械摩擦，分辨率高，適用于高精度大行程的掃描及定位使用。

產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖

應(yīng)用

• 光學(xué) / 光束穩(wěn)定  

• 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn) 

• 圖像處理與穩(wěn)定 

• 光學(xué)捕獲

• 激光調(diào)諧

• 光過(guò)濾 / 光開(kāi)關(guān) 

• 高精度位置調(diào)整

高分辨率、高穩(wěn)定性

該系統(tǒng)體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，內(nèi)部裝配高可靠性壓電促動(dòng)器，集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷，與傳統(tǒng)的壓電促動(dòng)器相比，可提供更好的性能及可靠性，適合工業(yè)應(yīng)用。

階躍時(shí)間

θx, θy 二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)滿(mǎn)幅值的響應(yīng)時(shí)間約為15ms。

閉環(huán)傳感定位精度高

配置高分辨率傳感器，對(duì)位置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋到壓電控制器，配套芯明天E70系列壓電控制器通過(guò)PID算法調(diào)整電壓修正位移，從而實(shí)現(xiàn)高精度定位。

技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)自由度：θx, θy 偏轉(zhuǎn)，Z 軸升降

θx, θy 偏轉(zhuǎn)角度：43mrad@150V

Z向行程：500μm@150V

傳感器類(lèi)型：SGS

θx, θy 偏轉(zhuǎn)分辨率：1μrad(~0.2")

Z向直線(xiàn)分辨率：20nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.02%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.014%F.S.

空載諧頻（θx, θy ）：1.5kHz

空載諧頻（Z）：0.29kHz

重量：985g

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡可與芯明天任意平臺(tái)配合使用，組合成多軸精密定位臺(tái)，用于多維精密直線(xiàn)與偏轉(zhuǎn)定位操作。