


壓電納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)用于高精度IMU的出廠標(biāo)定
在無(wú)人機(jī)精準(zhǔn)懸停、自動(dòng)駕駛汽車平穩(wěn)過彎的背后,有一顆至關(guān)重要的核心處理器- 慣性測(cè)量單元(IMU)。它的精度,直接決定了智能設(shè)備感知自身姿態(tài)的準(zhǔn)確度。一顆高精度的IMU,其優(yōu)秀性能離不開生產(chǎn)環(huán)節(jié)中最關(guān)鍵的一道工序:出廠標(biāo)定。當(dāng)IMU標(biāo)定需求邁入微弧度時(shí)代,壓電納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)憑借獨(dú)特技術(shù)優(yōu)勢(shì),成為標(biāo)定場(chǎng)景的理想搭檔。
一、IMU標(biāo)定為何是出廠“必修課”?
慣性測(cè)量單元(Inertial Measurement Unit)是一種用于測(cè)量物體運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的傳感器裝置。IMU通常由加速度計(jì)和陀螺儀組成,加速度計(jì)用于測(cè)量物體在三個(gè)正交方向上的線性加速度。陀螺儀則用于測(cè)量物體繞三個(gè)正交軸的角速度。通過對(duì)這些加速度和角速度數(shù)據(jù)的處理,IMU可以解算出物體的姿態(tài)、速度和位置等信息。
IMU具有更新頻率高、短時(shí)間內(nèi)推算精度高的特點(diǎn),它不依賴外部信號(hào),能夠在室內(nèi)、地下、水下等GPS信號(hào)受限的環(huán)境中獨(dú)立工作,因此在航空航天、無(wú)人機(jī)、自動(dòng)駕駛汽車、機(jī)器人、智能穿戴等眾多領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。
IMU內(nèi)部集成的加速度計(jì)和陀螺儀,分別測(cè)量線加速度與角速度,受一些因素影響,在實(shí)際輸出數(shù)據(jù)時(shí),都會(huì)存在微小的偏差:可能是安裝時(shí)帶來(lái)的誤差,可能是標(biāo)度因子非線性誤差,也可能是軸間不對(duì)準(zhǔn)造成測(cè)量方向偏差。而標(biāo)定的本質(zhì),就是通過精準(zhǔn)測(cè)試建立誤差模型,將這些系統(tǒng)性誤差進(jìn)行補(bǔ)償修正,從而確保IMU輸出數(shù)據(jù)更接近真實(shí)運(yùn)動(dòng)。

誤差模型示意圖
加速度計(jì)通常依賴重力常量標(biāo)定:重力矢量方向固定,通過將IMU以不同姿態(tài)放置,并采集各個(gè)位置狀態(tài)下加速度計(jì)的輸出數(shù)值,對(duì)比理論值與實(shí)測(cè)值的偏差,即可推算出加速度計(jì)的零偏和標(biāo)度因子等誤差,完成加速度計(jì)標(biāo)定。
動(dòng)態(tài)標(biāo)定則是在IMU處于運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下進(jìn)行的標(biāo)定,常用旋轉(zhuǎn)平臺(tái)或擺動(dòng)臺(tái)來(lái)進(jìn)行校準(zhǔn)。IMU動(dòng)態(tài)標(biāo)定的原理,是明確輸入值,觀測(cè)輸出值來(lái)進(jìn)行對(duì)比。為IMU提供一個(gè)已知、恒定且精確的物理量(如特定角度、角速度),利用穩(wěn)定的常量角速度,結(jié)合轉(zhuǎn)臺(tái)提供的角速度輸入,通過改變IMU姿態(tài),分析傳感器輸出差異,推算出所有誤差參數(shù)模型,從而修正動(dòng)態(tài)測(cè)量誤差。
二、高精度IMU標(biāo)定對(duì)設(shè)備提出何種要求?
IMU出廠標(biāo)定并不是簡(jiǎn)單的旋轉(zhuǎn)測(cè)試,而是對(duì)設(shè)備、流程的系統(tǒng)性考驗(yàn),它的核心要求集中在以下幾個(gè)方面:
1.姿態(tài)控制:精度必須匹配上IMU的測(cè)量能力
傳感器精度已向更精密的級(jí)別進(jìn)階,所以標(biāo)定設(shè)備需實(shí)現(xiàn)微弧度級(jí)的姿態(tài)調(diào)整。傳統(tǒng)轉(zhuǎn)臺(tái)易受機(jī)械間隙、摩擦影響,難以滿足高端IMU對(duì)安裝誤差、標(biāo)度因數(shù)的校準(zhǔn)需求。
2.動(dòng)態(tài)響應(yīng):能模擬復(fù)雜運(yùn)動(dòng)狀態(tài)
標(biāo)定不僅要測(cè)靜態(tài)誤差,還需通過動(dòng)態(tài)角速度測(cè)試驗(yàn)證傳感器性能。這要求轉(zhuǎn)臺(tái)能快速切換姿態(tài),且運(yùn)動(dòng)過程穩(wěn)定無(wú)抖動(dòng),避免引入額外誤差。
3.環(huán)境適配:扛住全溫范圍測(cè)試
IMU需在一些極端環(huán)境下穩(wěn)定工作時(shí),標(biāo)定也需同步開展全溫測(cè)試。設(shè)備需體積緊湊,且自身不受溫度變化影響。

三、壓電納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)如何成為IMU標(biāo)定的理想基座
壓電納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)基于壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)驅(qū)動(dòng),輸入電壓從而引起材料產(chǎn)生納米級(jí)形變。它具有的納米級(jí)分辨率、無(wú)摩擦以及超快響應(yīng)速度,地滿足了IMU標(biāo)定的需求。
01極高的角度分辨率
壓電納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)能夠產(chǎn)生并穩(wěn)定在極其微小的角度步進(jìn)(例如微弧度級(jí)別),以精確標(biāo)定傳感器的非線性誤差等。
02超平穩(wěn)的動(dòng)態(tài)標(biāo)定
壓電驅(qū)動(dòng)具有毫秒級(jí)的響應(yīng)速度和無(wú)磁、無(wú)摩擦的優(yōu)勢(shì)。這使得旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以進(jìn)行極其平滑、無(wú)抖動(dòng)的低速轉(zhuǎn)動(dòng)和掃描,是測(cè)試傳感器的理想輸入源。它能幫助更清晰地分離出IMU的動(dòng)態(tài)誤差,從而進(jìn)行針對(duì)性補(bǔ)償。
03實(shí)現(xiàn)多自由度精密對(duì)準(zhǔn)
通過將多個(gè)壓電產(chǎn)品例如壓電納米旋轉(zhuǎn)臺(tái)和壓電納米定位臺(tái)組合成多軸系統(tǒng),可以構(gòu)建一個(gè)多自由度的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),可快速且精準(zhǔn)地將IMU調(diào)整至標(biāo)定流程所需的任何一個(gè)理論姿態(tài)。其極高重復(fù)定位精度,確保了每次標(biāo)定的一致性,從根源上保證了出廠IMU產(chǎn)品性能的均一性與可靠性。
S54.T2系列壓電偏擺臺(tái)
S54.T2系列是具有中心通孔的二維θxθy軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特點(diǎn)
· θx、θy偏擺運(yùn)動(dòng)
· 開環(huán)/閉環(huán)可供選擇
· 80×80mm大通孔
· 分辨率高
· 外形超薄
· 適于加速度/角速度傳感器標(biāo)定
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | S54.T2S/K |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx,θy |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 3路驅(qū)動(dòng),2路傳感/3路驅(qū)動(dòng) |
| 標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度范圍(0~120V) | ±0.8mrad(≈±165秒)/軸 |
| Max.偏轉(zhuǎn)角度范圍(0~150V) | ±1mrad(≈±200秒)/軸 |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 偏擺分辨率 | 0.07µrad/0.002µrad |
| 閉環(huán)線性度 | 0.2%F.S./- |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1%F.S./- |
| 推/拉力 | 40N/8N |
| 運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 0.5N/µm |
| 空載諧振頻率 | θx450Hz/θy400Hz |
| 空載階躍時(shí)間 | 20ms/3.5ms |
| 閉環(huán)工作頻率(-3dB) | 110Hz(空載) |
| 承載能力 | 1kg |
| 靜電容量 | 3.6μF/軸 |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 |
| 外形尺寸(長(zhǎng)×寬×高) | 125mm×125mm×20mm |
| 通光孔尺寸(長(zhǎng)×寬) | 80mm×80mm,4×R10** |
| 重量 | 510g |
**代表通光孔4個(gè)角弧形半徑為10mm。
S21.R3S/K壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)
S21.R3S/K壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)是一維θz運(yùn)動(dòng)的壓電納米定位臺(tái),它的外形結(jié)構(gòu)緊湊,非常易于集成。

特點(diǎn)
· θz旋轉(zhuǎn)
· 旋轉(zhuǎn)角度3mrad
· 閉環(huán)定位精度高
· 響應(yīng)速度快
· 體積小巧
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) | S21.R3S/K |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θz |
| 傳感器類型 | SGS/- |
| 驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng),1路傳感/1路驅(qū)動(dòng) |
| 標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 2.4mrad |
| Max.行程范圍(0~150V) | 3mrad |
| 分辨率 | 0.1μrad/0.003μrad |
| 閉環(huán)線性度 | 0.3%F.S./- |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1%F.S./- |
| 空載諧振頻率 | 700Hz |
| 帶載0.5kg諧振頻率 | 120Hz |
| 承載能力 | 0.5kg |
| 靜電容量 | 5.4μF |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 |
| 重量(不含線) | 1635g |
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