N12系列壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度、高剛性、大負(fù)載、無磨損等特點(diǎn)，平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進(jìn)行全閉環(huán)反饋，實(shí)現(xiàn)滿行程0.04%的重復(fù)定位精度。 N12.XYZ三維XYZ軸壓電掃描臺中心具有通孔，zui大掃描范圍可達(dá)110μm，閉環(huán)掃描臺精度更高，直線運(yùn)動無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域。 特性 • 三維XYZ向運(yùn)動，zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.5kg • 開/閉環(huán)可選 • 臺體中心方形通孔，尺寸為45×45mm • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動示意圖 | 臺體采用放大機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，運(yùn)動行程范圍大 | 
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小體積、大位移、中心通孔 | 頻率負(fù)載曲線 | 閉環(huán)傳感定位精度高 | N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達(dá)110μm。*的平行運(yùn)動學(xué)設(shè)計(jì)原理，使得N12.XYZ壓電平臺可以實(shí)現(xiàn)XYZ軸高速精密運(yùn)動。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛，從光學(xué)研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。 該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及優(yōu)異的直線性使其成為光學(xué)、激光領(lǐng)域納米級精密定位應(yīng)用。 | 
| N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實(shí)時檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調(diào)整電壓修正位移，從而實(shí)現(xiàn)高精度定位。 N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應(yīng)用于光學(xué)顯微成像，實(shí)現(xiàn)XYZ軸精密掃描。 
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平穩(wěn)和精確的掃描圓形驅(qū)動 | 精準(zhǔn)圓形驅(qū)動控制，可以通過精切定位XY平臺的每一軸，采用正弦波90°相差輸入，也可以通過PID修正位移進(jìn)行調(diào)整，根據(jù)頻率幅值以及負(fù)載使得驅(qū)動控制平穩(wěn)精確。 | 
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應(yīng)用 • 圖像處理與穩(wěn)定 • 精密定位 •光學(xué)捕獲 • 掃描顯微 • 干涉/計(jì)量 • 半導(dǎo)體測試 • 表面檢測 • 光學(xué)計(jì)量 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析 N12全系列產(chǎn)品：1~3維掃描臺 N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號。 
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| N12.X一維 110μm運(yùn)動范圍 | N12.Z一維 110/210/320μm運(yùn)動范圍 | N12.XY二維 110μm/軸運(yùn)動范圍 | N12.XZ二維 110μm/軸運(yùn)動范圍 | N12.XYZ三維 110μm/軸運(yùn)動范圍 |
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