壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點(diǎn)
Z 向運(yùn)動(dòng)
大行程范圍
承載達(dá) 0.5kg
可選配閉環(huán)傳感器
位移與電壓曲線
線性度曲線
產(chǎn)品應(yīng)用
聚焦顯微
激光加工
Z 向定位與掃描
表面結(jié)構(gòu)分析
型號(hào)
XD730.400S-B1
XD730.400K-B1
單位
運(yùn)動(dòng)方向
Z
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
400
μm±10%
行程范圍（0~150V）
500
傳感器類(lèi)型
SGS
-
分辨率
14
4
nm
閉環(huán)線性度
0.2
%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.05
空載諧振頻率
150
Hz±20%
靜電容量
28.8
μF±10%
承載能力
0.5
kg
重量
520
g±5%
臺(tái)體材料
鋁、鋼
注：以上參數(shù)是采用E00/E01系列壓電控制器測(cè)得。最大驅(qū)動(dòng)電壓可在-20V~150V；對(duì)于高可靠的長(zhǎng)期使用，建議驅(qū)動(dòng)電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
17051647888
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